無塵室是一種將空氣中氣旋微粒、溼度、溫度嚴格控制的工程空間，在半導體的製程中極為重要，無塵室的存在能夠滿足生產產品時需要的環境可靠性，以此達到品質控管。一般為避免臨時風機故障而導致無塵室無法運作，長久以來一直以備用風機機組作為解決方案。隨著半導體的製程更新迭代，對於無塵室的管控更加嚴格，因此風機馬達的壽命監測已逐漸受到重視。

 

在本應用案例中，我們的: "智慧振動診斷監測解決方案"，以智慧振動感測器直接以內建的Sensor AI 演算法計算馬達壽命，並將計算結果以USB介面直接連接至風機馬達的工業電腦(IPC)，因此在風機馬達健康狀態開始異常的初期，風機馬達的控制設備就可收到異常警報，並通知維修人員排程處理，以確保風機馬達的運作品質及效能。